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DFX驱动的微器件e-CAD工具的研究

2008年

应用技术

成果简介

以微器件CAD 技术为研究对象，本项目从基于Web的集成框架、DFX 驱动的并行设计方法学、多能量域性能分析与评价、基于微加工工艺规划的可制造性分析与评价等四个方面进行研究，并拟解决MEMS 产业化过程中的设计瓶颈问题。可以预计，该项目的成功实施会对微器件CAD技术的深化应用起指导、示范作用，且具有理论与实践两方面的意义。...

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