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在Si基板上制备高度(110)取向的铂金电极

2008年

应用技术

成果简介

　　选择合适的缓冲层材料在Si基板上制备（110）取向的Pt电极，所使用的缓冲层与目前使用最广泛的Pt(111)/Ti/SiO_2/Si基板中的Ti粘结层具有非常相似的性质，几乎不对Si基板的性能和沉积的铁电薄膜的性能产生任何影响。在Pt为（110）取向的基板上可方便地制备出高质量高度（110）取向或外延的钙钛矿型铁电薄膜。已获得的高度（110）取向PZT40/60薄膜性能非常优越，其剩余极化可达...

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