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电化学沉积CNX薄膜的摩擦性能研究

2004年

应用技术

成果简介

以单晶硅片（100）为衬底，尿素－甲醇有机溶液为沉积液，用电化学沉积的方法在阴极制备出CNx薄膜。通过AFM、XPS、Raman光谱和FTIR光谱对得到的CNx薄膜的表面形貌和微观结构进行了表征，并在球－盘摩擦试验机上考察了薄膜的干摩擦性能，用SEM和EDS对摩擦表面进行了分析，研究了摩擦机理。结果表明，薄膜表面致密，但粗糙度较大；Raman光谱中出现明显的D峰和G峰，说明薄膜具有无定形的...

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