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用于纳米尺度半导体器件性能监测的PDO谱仪

2008年 应用技术
  • 成果简介
　　一、项目概述
　　随着中国信息产业的迅猛发展以及国内外消费结构的升级，集成电路已成为信息产业的核心和基础。中国对集成电路的需求将持续增长，在信息产业的发展中处于举足轻重的战略地位。根据国家集成电路产业发展规划，在未来10～20年时间里，中国芯片市场的增长率将高于全球市场的两倍。到2005年，我国集成电路的需求量将在365亿块左右，集成电路的产量仅能满足国内市场需求的30%。到201...
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