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类金刚石硬质薄膜

2008年 应用技术
  • 成果简介
类金刚石涂层是一类无定型亚稳态碳材料,具有类似于金刚石的多种优异性能,如高硬度、高耐磨耐蚀性,良好绝缘性、优异生物兼容性、在可见到紫外光范围内透明及表面光滑等。并且没有高温高压条件下合成金刚石涂层成本高、生长面积小的缺点。
技术特点
类金刚石涂层可在多种气相沉积的低温条件下顺利进行,且依制备工艺技术不同,类金刚石涂层的性能可依应用需求在最软石墨和最硬...
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