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离子束辅助固体表面途层的优化及薄膜工程与技术

2008年 应用技术
  • 成果简介
低能离子束在固体表面结晶态薄膜形成时具有再激活凝聚原子的作用。理论与实验证明，当PVD(physical vapordeposition)的束流成分比一定时，沉积层的结构与离子能量有关，“能窗”内的离子可使外延层的结构乃之薄膜的性能得到优化。由此，可控制薄膜为单晶、多晶和无定形结构，有利于制备无素和化合物金属与半导体薄膜；利用固体表面附近的化学反应（化合与分解）效应，实现了异质结界面上金属...
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