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微型惯性传感器

2008年 应用技术
  • 成果简介
1.简要背景
惯性传感器主要包括加速度传感器和陀螺,是运动量和振动量测量最主要和关键的器件。从1990年代开始,由于MEMS技术的迅猛发展,采用微机械加工手段和微电子批量生产方式制作的微惯性传感器目前逐渐成为惯性器件发展的一个技术主流。由于微机械惯性传感器具有体积小、成本低、可靠性高和批量制造等优势,其应用市场十分广阔。
2.取得的突破和进展
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