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超硬、抗蚀类金刚石PVD低温涂层技术

2008年

应用技术

成果简介

采用较CVD更为先进的PVD（Physical Vapor Deposition／物理气相沉积）工艺，即在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧气体放电技术，使靶材蒸发并与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在被处理工件上。处理温度低，在600℃以下时对工件的抗弯强度无影响；薄膜内部为压应力状态，更适于对硬质合金精密复杂刀具的涂层；工艺绿色环保。类金刚石（Diam...

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