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平行组合离子束技术及其在材料芯片研究中的应用

2002年

基础理论

成果简介

本项目的研究内容主要集中在平行组合离子注入技术及其应用研究。应用平行组合技术，结合离子束注入和微米束分析技术，并结合Mask技术和Mark技术进行自对准的离子注入，利用离子激发X射线分析（PIXE）对材料进行微区的二维成份分析（空间分辨率可达1mm），同时结合其它微米束技术如背散射分析（NRS）、沟道效应对材料芯片进行三维、多元素的快速定量分析。研究的材料体系为硅基发光材料。目前发光材料的...

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