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复合热释电薄膜红外探测器的制备和性能测试

2001年 应用技术
  • 成果简介
为解决热释电薄膜红外探测器中的热损失问题，引入了复合热释电薄膜的概念。它利用多孔二氧化硅具有的低热导特点，有效地减少了热量从热释电层向衬底的热扩散。利用溶胶－凝胶和金属有机物热分解等工艺制备的复合热释电薄膜红外探测器，在温度为420K、频率为10Hz时，电压响应率约为1400V／W，探测器的星探测率D（420，10，2）为9．3×10^7cm·Hz^1/2/W。...
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