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掺Er纳米硅薄膜的发光特性研究

2001年 应用技术
  • 成果简介
我们在淀积纳米硅薄膜过程直接掺入N、C等铒激活杂质,形成的富硅氮化硅和碳化硅作为母体材料,通过调节工艺参数,首先获得这些材料较强的室温光致发光,并证明这些材料结构上存在分凝现象,而这一事实既是母体材料也是铒发光的关键所在。研究中首次发现了富硅氮化硅材料的共振拉曼现象,首次证明富硅碳化硅表层高度无序结构与体内分凝现象有共存,高温退火后,富硅碳化硅实现了室温黄光发射。以上结果在国内外均未见报导...
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