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金刚石膜高效抛光加工新技术研究

2002年 应用技术
  • 成果简介
提出并研究金属涂覆金刚石膜表面,使金刚石膜成为导体,通过电蚀加工时金属涂覆层对金刚石的融蚀、金刚石的受热石墨化和汽化,实现金刚石膜高效抛光加工的新技术,研究金属涂覆层性质、电蚀加工工艺等对金刚石膜抛光机理、加工变质层和金刚石膜刀具切削性能等的影响;优选高效抛光工艺参数,对于提高金刚石膜加工水平具有重要的理论和应用意义。...
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