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金刚石膜的外延生长及其应用

2002年 应用技术
  • 成果简介
金刚石因其许多特殊的性质和可以用于制造苛刻条件下使用的器件的前景吸引了研究者数十年的热情。在本课题框架内，我们采用不同工艺和技巧实现了金刚石在硅，镍和玻璃等衬底上的生长，并相应地研究了金刚石的性质。我们发现用C60做中介有助于金刚石在硅表面的形核，含甲烷环境下退火的镍表面上金刚石形核无论在数量上和质量上都得到了改善。合适的超声抛光可以帮助金刚石在玻璃表面的形核，生成纳晶金刚石，高度透明且硬...
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