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微波放电和激光烧蚀混合等离子体的特性和应用

2001年 应用技术
  • 成果简介
电子回旋共振微波放电等离子体由于其密度高、电离度高、工作气压低等特点，广泛应用于表面处理、薄膜制备和材料刻蚀等；对固体靶的脉冲激光烧蚀产生高电离度、高速膨胀的瞬态等离子体，在材料微分析、器件微加工和薄膜沉积等方面都有成功的应用。ECR微波放电和PLA共同作用产生的混合等离子体，不但兼具上述两种等离子体的特点，还会引发一些新的物理和化学过程，可以期望在材料制备和表面处理方面也有潜在的应用前景...
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