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纳米光电子器件光学性质的实时光谱学分析和研究

2003年 应用技术
  • 成果简介
为满足在光电子功能薄膜材料和器件的制备过程中对其光学性质进行实时监控的要求,建立了具有光谱实时监控功能的高性能薄膜生长系统,不仅能获得薄膜的厚度信息,还能获得关于光强、光谱带宽和线型等信息,从而为高性能薄膜器件的光谱特性原位监控以及高效率制备创造了条件。在研究中创新研制了一种能同时满足宽波长区、高分辨率和快速光谱获取的集成二维多光栅红外光谱分析系统。在研究中,采用了一个由5块子光栅组成的集...
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