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亚微米级高速并行激光直写方法及工艺研究

2003年 应用技术
  • 成果简介
二元光学是基于光波衍射理论发展起来的一个新兴光学分支，是光学与微电子技术相互渗透、交叉而形成的前沿学科。二元光学器件具有体积小、重量轻、易复制、造价低、衍射效率高、设计自由度多、色散性能独特等优点，并能实现传统光学器件难以完成的微小、阵列、集成及任意波面变换等新功能。本项目提出了基于电寻址透射式强度型空间光调制器的二元光学器件并行直写方法，采用逐个图形曝光的方式使其具有内在的并行特性，可大...
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