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用于平板显示的掺杂四面体键合碳膜的制备与场致发射

2001年 应用技术
  • 成果简介
本课题通过改变生长气源和利用氢稀释以及薄膜淀积与氢等离子处理交替进行的生长技术制备了具有四面体键合的半导体碳薄膜，并利用氮等离子表面处理技术制备了掺杂碳膜。研究表明：用有机碳源制备碳膜时，薄膜中含有一定量的基于苯环组态的结构，这种结构会引入新的发光中心，导致室温下强的蓝光和绿光发射，使得实现碳基蓝绿光发光二极管成为可能。另一方面，利用氢等离子体作用，抑止了碳膜中类石墨结构的生长，形成了镶嵌...
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