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纳米氧化物薄膜的研制

2001年 应用技术
  • 成果简介
由于大多数氧化物是绝缘体，限制了许多仪器在此领域的测试和研究工作，因此，实验方面的基础研究工作开展的很少。在金属表面制备超薄氧化物薄膜，能够消除在体相中氧化物因绝缘而引起的表面荷电效应，进而拓展各种真空表面谱仪在氧化物领域的基础研究工作。本项目在超高真空中制备了各种纳米有序氧化物薄膜（包括氧化铝、氧化钒、氧化铈、氧化镁和氧化铬）和氮化铈薄膜。用各种超高真空表面分析谱仪，包括X－射线光电子能...
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