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硅基薄膜热线型气体传感嚣及其表面修饰

2001年

应用技术

成果简介

研究了以Si为衬底采用RF方法在其上溅射铂膜电极的工艺条件，如Ar压力、淀积温度、淀积速率及热处理温度对铂电极质量的影响。分析了平面热线型气体传感器的结构特点。为制备器件要求的低阻SnO_2、IN_2O_3薄膜敏感材料，采用SoL-Gel等方法在制备凝胶过程中采用液相分别掺Sb（3 ）和掺Sn（4 ）及真空或适当气氛中热处理的方法，制得低阻SnO_2、IN_2O_3敏感层材料。为改善气体传...

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