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在扫描探针显微镜及其针尖上沉积薄膜的方法

2002年

应用技术

初期阶段

成果简介

一种利用荷能团簇在扫描探针显微镜悬臂及其针尖上沉积薄膜的方法，其特征在于该方法是在荷能团簇沉积装置上进行的包括下列步聚：溅射室的靶架放置溅射靶材；在沉积室的靶架上粘贴扫描探针显微镜（AFM）的悬臂，并确保针尖向外；使靶架和待沉积薄膜的AFM悬臂处于一铜屏蔽室中；用两套真空系统同时分别对溅射室和沉积室抽真空；在溅射室中充入惰性气体Ar，使溅射室真空度达8-20Pa，沉积室真空度达3×10^(...

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