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一种具有圆环状压电陶瓷多层膜结构的加速度传感器

2002年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本成果是上海海市科学发展基金资助项目“压电陶瓷厚膜材料制备及其多层压电敏感元器件的研究”的部分工作结果,它主要是针对高性能多层片式压电陶瓷加速度计在航空、航天技术和其他高新技术领域应用。这种加速度计的基本原理是用铋系高温压电陶瓷(CBST),通过制备电学并联、力学串联的多层膜压电陶瓷结构,提高其压电等效系数,进而提高压电陶瓷加速度计的电荷灵敏度。这种加速度计具有体积小、电荷灵敏度高,并且可...
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