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HEDP法材料表面金属化及界面研究

2001年

应用技术

成果简介

异质材料结合的界面研究是近年来材料研究的热点之一，本课题采用脉冲高能量密度等离子（HEDP）枪对氧化铝、氮化铝和氮化硅等纯陶瓷以及纯硅片材料基片表面进行金属化，进而对于金属膜/基底界面的微观和宏观行为进行了研究。研究结果表明，用脉冲HEDP法材料表面金属化，即使对于结构、组织和性质差异较大的异质材料界面，金属元素与材料界面也会发生化学反应，形成化合物，使得界面结合非常牢固。用划痕法无法测出...

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