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组合型线列硅光探测器

2002年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
利用光谱测试时不同光敏元测试不同波长光的特点,把线列探测器分为几段,每一段在工艺中对其探测波段的响应率进行增强,然后把这几段探测器拼接成一个完整的线列。这样,在光谱仪覆盖的整个光谱范围内都能得到高的测试灵敏度。探测器采用了PIN光电二极管的工艺,通过选择不同厚度的SIO_2增透膜,使相应探测波段的响应率得到增强。...
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