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微型单芯片惯性测量组合及其测试系统集成研究

2004年 应用技术
  • 成果简介
微型单芯片惯性测量组合及其集成测试系统是将多维惯性参量检测进行单片集成并与实时数据采样压缩存储系统集成的一项高新探索性研究项目，具有精度高，成本低，体积小，可靠性高等突出优点。本项目采用静电梳齿驱动，设计了单片微型惯性测量组合，对其进行了结构分析、模态分析、驱动电路检测电路设计与调试，并对单片惯性测量组合进行了工艺流片与测试试验。试验结果得到了航天部专家的肯定。...
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