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新颖微波介质陶瓷薄膜的研究

2004年 应用技术
  • 成果简介
研究微波介质陶瓷薄膜对于实现微波器件的集成化和高品质化具有重要意义，但是目前关于微波介质陶瓷薄膜的研究国外才刚刚起步。本课题组采用射频高密度等离子体多靶共溅的磁控溅射技术，在国内首次制备出了膜层质量良好的微波介质陶瓷薄膜MCT和BNT，其微波介电特性接近块状材料。实验获得了优化的射频磁控溅射生长MCT和BNT薄膜的工艺。实验表明：基片及其基片温度是影响薄膜膜层主要因素。研究了薄膜制备工艺、...
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