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显微CT技术

2007年

应用技术

成果简介

射线三维显微层析（3D-μCT），是一种采用微焦点（3～200μm）锥束X射线对微小试件做透照投影放大扫描，并以这种扫描采集的二维数字透照显微图像（μDR），重建其内部介质结构、形态三维图像，并进行三维可视化的高分辨力成像技术。特别是3D-μCT能以1～10μm分辨力的高清晰度三维图像再现机电系统(MEMS)内部结构的三维精细形态，是国际公认的发展MEMS和微电子的关键基础技术，也是一种有...

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