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MEMS技术检测痕量爆炸物微粒的原理与实验方法研究

2007年

应用技术

成果简介

MEMS爆炸物探测原理样机是“八六三”MEMS重大专项“MEMS技术检测痕量爆炸物微粒的原理与实验方法研究”所取得的研究成果，是国内外首台基于MEMS技术的轻小型爆炸物探测器原理演示样机。该样机包括采样装置、MEMS敏感阵列、多路信号采集与处理系统三部分，其尺寸小于40×30×30cm^3，重量低于3kg，能检测出微克量级的梯恩梯和黑索金微粒，最低检测量达到1微克，分析时间不到60秒。该成...

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