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基于MEMS技术PCR、CE生物芯片

2007年

应用技术

成果简介

基于MEMS技术把传统的生物、化学反应实验过程在硅片或玻璃片上实现，即芯片上的实验室，是当今研究和开发的一个热门，更是生物化学分析检测系统与技术的重大革命，将成为新世纪的一项主导产业，会产生巨大的经济效益和社会效益。
微电子机械系统（MEMS）技术是在微电子器件制造工艺技术基础上进一步融入微机械加工技术，并把两者结合起来的微制造技术；加工尺度在微米、纳米级。

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