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高精密蒸镀用MASK板的研制

2007年

应用技术

成果简介

　　经过本课题的研究，解决了大幅面低应力电铸技术的难点，解决了大幅面平面电铸的厚度均匀性问题，独创性的建立了OLED MASK制造数据补偿的软件模型和计算机辅助制造的方法并解决了大幅面薄金属技术等技术难点。
　　在技术创新方面，实际的产品已经达到10μm的分辨率，厚度精度控制方面可以做到±2μm，在大幅面制造方面已经具备了600mm×600mm的能力，这些指标是同行业世界领先水平。同时...

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