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ZnO薄膜材料的新型MOCVD生长及其光电器件的研究

2007年

应用技术

成果简介

　　本项目是利用MOCVD(Metal-Organic CLemirel Vapor Deposition)方法生长出高质量的n-ZnO，P-ZnD和高阻ZnO薄膜，并对其光电特性进行分析，研制出ZnO紫外光探测器和表面声波滤波器，并进行p-n结发光二极管的初步研究。
　　技术特点：
　　(1)材料生长设备上的创新：设计并加工了附加射频等离子源的新型MOCVD系统DEZn由...

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