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一种在微尖锥顶端定位镀膜的方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　本发明公开了一种微尖锥定位镀膜的方法。所述的方法采用的工艺步骤如下：
　　(1)锥尖暴露高度确定：在整个尖锥器件表面沉积覆盖层，采用薄膜削薄技术，减小表面覆盖层厚度，露出锥尖顶端，而锥体仍被覆盖；通过调节薄膜削薄参数，控制锥尖露出高度；
　　(2)表面处理和钝化：根据实际需要，对露出锥尖进行表面净化处理和钝化保护；
　　(3)薄膜沉积：根据实际需要，在锥尖顶...
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