首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

一种高分辨率自支撑全镂空透射光栅的制作方法

2006年 应用技术
  • 成果简介
一种X射线衍射光学元件——高分辨率自支撑全镂空透射光栅的制作方法，步骤如下：
1、在自支撑X射线掩模衬基上淀积薄铬薄金层；
2、在薄铬薄金层表面上甩电子束光刻胶，得到光栅图形；
3、所得片子放在电镀液中电镀出X射线掩模吸收体金图形；
4、所得片子去除电子束光刻胶；
5、再去除电子束光刻胶图形...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统