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一种纳米级交叉线阵列结构有机分子器件的制备方法

2006年 应用技术
  • 成果简介
本发明属于微电子学与分子电子学中的微细加工领域，特别是一种纳米级交叉线阵列结构有机分子器件的制备方法。其步骤如下：
1、在基片表面上淀积绝缘层薄膜；
2、在绝缘层薄膜表面上旋涂电子束抗蚀剂，电子束曝光、显影得到下电极图形；
3、蒸发制备下电极金属；
4、金属剥离得到交叉线下电极；
5、在下电...
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