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一种砷化镓PIN二极管及其制作方法

2006年 应用技术
  • 成果简介
本发明公开了一种GaAs PIN二极管,该GaAs PIN二极管包括:用于支撑整个GaAs PIN二极管的半绝缘GaAs衬底;在半绝缘GaAs衬底上外延生长的高掺杂N+层,在高掺杂N+层上依次外延生长的接近本征的高阻I层和P+层;通过采用湿法刻蚀,所述高掺杂N+层、高阻I层和P+层的面积依次减小形成台面结构;在P+层上蒸发金属形成的圆形结构上电极;在N+层上蒸发金属形成的半环形结构下电极。...
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