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用于芯片间光互连的新型光电探测器(EVPD)

2007年

应用技术

成果简介

　　简便的制作和对准方法对光电集成电路来说是十分重要的。中国科学院和乔治亚理工学院的科学家们展示了精巧的光电探测器制作方法以降低光电集成成本。通过各向异性化学腐蚀、晶体材料外延生长和光刻等工艺过程，李志华以及他的同事研制了斜面受光探测器。按照他们的方法，通过光波导传播的光可以直接入射至台阶结构的斜面受光区上，实现光波导和光电探测器之间的耦合对准，无需使用反射镜和微透镜。该探测器的性能还需要提高。研...

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