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平板式电极结构

2004年 应用技术
  • 成果简介
　　一种平板式电极结构，用于PECVD系统，包括：一上极板，带有加热器，基片放置于上极板；一下极板，设有上层孔板、下层孔板，其中所述的上层孔板、下层孔板之间为上层混气室，下层孔板之下为下层混气室；下层混气室下部另设有电极接入端子，电源通过分配器采用这些电极接入端子引入；一进气口，连接于下极板的下端，由上而下依次为一绝缘陶瓷层和一金属层。
　　本实用新型提高非晶硅基薄膜材料生长速率及均匀...
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