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一种光路折叠式波导光开关阵列及其方法

2006年 应用技术
  • 成果简介
　　本发明涉及信息光电子技术领域，一种光路折叠式波导光开关阵列及其方法。包括：各级2×2光开关单元；各级2×2光开关单元之间的连接光波导；对连接光波导进行90°转折的若干组微型全内反射镜；光开关驱动电极。
　　在工艺上，这种光路折叠式波导光开关阵列由于需要的芯片尺寸比传统的采用S型弯曲波导连接结构的光开关阵列小若干倍，因此对刻蚀波导工艺均匀性的要求大大降低。在光纤耦合封装工艺上，由于光...
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