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铟砷/镓砷量子点的分子束外延生长方法

2005年 应用技术
  • 成果简介
  一种铟砷/镓砷量子点的分子束外延生长方法,是在镓砷基体上分子束外延沉积两层铟砷,通过调控变化第二层铟砷的沉积温度,控制量子点的发光波长。
  其特征在于包括如下步骤:步骤1:选择一衬底;步骤2:在该衬底上生长一层厚的外延层;步骤3:在外延层上沉积第一铟砷层,通过控制第一铟砷层的生长温度确定量子点面密度。步骤4:在第一铟砷层上沉积镓砷间隔层;步骤5:在镓砷间隔层上沉积第二铟砷层,第二...
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