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利用密封石英玻璃管实现不同材料晶片键合的方法

2004年 应用技术
  • 成果简介
一种利用改造的液相外延炉实现不同材料晶片键合的方法，包括如下步骤：a)晶片的清洗与表面处理；b)键合所用的夹具的实现；c)在夹具底部使用压电陶瓷片实现键合压力的测量；d)将所需晶片固定在键合夹具中，然后放在高纯石英玻璃管中抽真空至10^(-6)～10^2Pa范围（或者只说抽真空，不写具体值）；e)将保持高真空的石英玻璃管用氢氧焰密封好，实现局域高真空；f)在液相外延炉体中键合夹具所处的位置...
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