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高深宽比结构的电容式加速度计

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　本实用新型公开了一种高深宽比结构的电容式加速度计，它涉及半导体MEMS制造领域中的一种高灵敏度加速度计。它由玻璃衬底、硅质量块、玻璃衬底电极、硅玻璃键合台面、悬臂梁、硅定梳尺、硅动梳尺、硅片等部件组成。硅定梳尺通过硅玻璃键合点固定在玻璃衬底，形成固定部分，硅动梳尺、硅质量块通过悬臂梁与硅玻璃键合台面连接，形成可动部分。当感受到敏感轴方向外界加速度时，悬臂梁产生变形，硅动梳尺和硅定梳尺之间的电容...
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