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MEMS技术与GMR微传感器及其应用

2007年

应用技术

成果简介

　　磁传感器的一些基本应用（如：位置测量、转速测量、方位测量、磁场检测等）可以用于量具、仪表、机械加工、交通运输、计算机及信息技术、汽车电子、航空航天、金融防伪、国防等领域。巨磁电阻（GMR）传感器，它是用GMR自旋相关薄膜磁性材料制作的磁微传感器，它涉及磁性材料、纳米技术、MEMS技术、半导体集成技术等新兴交叉学科，其重要性正日益凸显。与霍尔传感器、各向异性磁电阻传感器、磁通门传感器等传统器件相...

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