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新型微泵和微阀

2007年

应用技术

成果简介

　　本课题以微小型生物医疗分析仪器和微型能源系统的需求为应用背景，研究新型的微流体执行器单元：新型微泵和微阀。
　　通过对聚合物MEMS工艺的探索，研制了PDMS微泵；该泵通过一次光刻、注模制作出基本结构，具有成本低、适合批量生产的特点；PDMS泵膜弹性好，结合压电驱动，能实现大位移；利用流体的动力学特性实现阀功能，没有可动部件，可靠性高。通过探索表面润湿改性和表面粗糙疏水增强的方法，...

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