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反铁磁耦合的磁性颗粒薄膜材料及其制备和应用

2007年 应用技术
  • 成果简介
本发明涉及反铁磁耦合的磁性颗粒薄膜材料及其制备和应用，组成为Fe_x(TiO_2)_(1-x)，其中x为铁的金属颗粒所占的体积百分比，0.40＜x＜0.76。本发明是采用直流磁控溅射技术，在氩气和氧气的混合气氛中，控制铁靶的溅射功率沉积。基片为玻璃、石英、聚酯、单晶硅、单晶砷化镓等，溅射时基片不加热。本发明的Fe_x(TiO_2)_(1-x)磁性颗粒薄膜的最大磁电阻数值为-29.3%，室温...
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