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精密光学对准系统

2007年 应用技术
  • 成果简介
成果简介：
六维精密光学对准(微调)系统。x、y、z三维与旋转角三维用于光学系统、光纤、光波导等对接以及其它精密械微调。
主要技术指标：
1. x、y、z三维，粗调0～5mm，精调0～15μm，±0.02μm?αx、αy、αz三维旋转0～360°，0～15°精度±0.1°。
2. 光电自动检测对准(用于光纤～光纤，光纤～波导对...
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