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大尺寸柱状中空溅射阴极

2004年 应用技术
  • 成果简介
本实用新型公开了一种大尺寸柱状中空溅射阴极，由圆筒形高温超导溅射靶材、冷却水箱及置于冷却水箱内的冷却水循环单元组成，冷却水箱的内壁直接紧密接触高温超导溅射靶材壁，冷却水箱内壁内层覆有一层筒形软磁材，在筒形软磁材料周边上分布的一组可拼装磁体；磁体的充磁方向为内圆心至外圆周方向；冷却水循环单元的进水管开在冷却水箱的底部，出水管开在冷却水箱的顶部。其通过对原有大尺寸中空溅射阴极的改进，便于靶材在...
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