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化学气相沉积硫化锌系统中的除尘过滤装置

2005年 应用技术
  • 成果简介
一种化学气相沉积硫化锌系统中的除尘过滤装置，它包括有冷凝室、过滤室、吸附室，所述的冷凝室上连接有冷凝室进气管和冷凝室出气管，在冷凝室内设置有螺旋水冷管，该螺旋水冷管上连接有进水管和出水管；所述的过滤室内设置有带支架的过滤罩，该过滤罩上部穿入有过滤室进气管，在过滤罩的底部设置有粉尘收集罐，在过滤罩外部的过滤室侧壁上设有过滤室出气管；所述的吸附室内设置有吸附剂层，在吸附室的顶部设置有吸附室出气...
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