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一种晶圆氧化膜边缘的去除方法及装置

2004年 应用技术
  • 成果简介
一种晶圆氧化膜边缘的去除方法及装置，该方法包括以下几个步骤：将放有晶圆硅片的片架对准转轮，使硅片与转轮接触；转动转轮，带动片架内硅片转动，转轮上布袋浸有的氢氟酸与硅片氧化膜边缘作用；与电机转动的同时，开动位于片架上方的风机，调节箱体内空气中氢氟酸的浓度；取出片架，检测晶圆氧化膜边缘。本发明的优点是：片架位于转轮的上方，转轮上有由布条包覆形成的布袋，片架内的硅片与转轮接触，转轮的下方设有氢氟...
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