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盘状磁性靶材PTF的测试装置

2006年 应用技术
  • 成果简介
一种盘状磁性靶材PTF的测试装置，它包括靶台、马蹄形永磁铁、霍尔探针；马蹄形永磁铁设置靶台下部，霍尔探针设置在靶台上部，所述的靶台下中部一体连接有靶台支柱，其特点是，在靶台的上表面中部设有定位凹孔，在该凹孔内插有校准套。所述的校准套呈圆盘状、三层、倒台阶状、一体连接，上层是一个圆压盘，中层是一个圆定位盘，下层是一个凸柱，该凸柱插入定位凹孔内。在所述的靶台上一侧还设置有两个定位轴承。本实用新...
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