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ULSI用超净高纯试剂的研究

2007年 应用技术
  • 成果简介
目前国内所生产的高纯盐酸均采用高温蒸馏的方法，此方法的缺点是对设备材质要求高，安全性差，生产成本高，连续化生产难度大，不适合工业化规模生产。气体吸收法就是工业无水氯化氢通过低温精馏精制，然后再经气体纯化、洗涤，用纯水吸收得到高纯度的盐酸。气体吸收法制备高纯盐酸的突出优点是：设备及工艺路线都很简单，生产能耗低，产品质量高，操作简便，产量大，可以规模化生产。
我所此次完成的...
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