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蓝光纳米碳化硅薄膜的制备及发光特性

2002年 基础理论
  • 成果简介
采用恒温\变温方法使射频磁控溅射方法制备的非晶碳化硅纳米化.利用纳米碳化硅颗粒的量子尺寸效应，得到了室温下纳米碳化硅的薄膜的蓝光发射，发射的光子能量在2.4eV以上，远大于立方碳化硅的带隙能量。通过改变碳化硅薄膜的微结构，提高了其发光效率，发现随碳化硅纳米晶尺寸的减小，发光谱峰蓝移，首次发现纳米晶尺度与发光峰有对应关系。...
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